仕様

 
空間分解能 1x1mm以下
画素分解能 640x480
測定範囲 標準 1~5μm
繰り返し精度 ±1%
セル厚分解能 ±0.02μm
測定スピード 2秒
測定サイズ 標準:100x100mm
特注:10~20インチ

セルギャツプ構成模式図

セルギャツプ構成模式図

空セルギャツプ分布

生画像
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処理画像
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