仕様

測定部
受光素子
1CCDイメージセンサー
測定点数
640×480点
膜ムラ測定範囲
10~800Å(オングストローム)(校正を必要とする)
膜ムラ分解能
1%       (当社光源にて)
膜ムラ測定精度
±2%  相対値 (当社光源にて)
膜ムラ再現性
±2%      (当社光源にて)
測定時間
3秒

光源部(オプション)
照明面積
580x410mm(HxV):外形 690x690mm 
照明有効面積
450x350mm
輝度均一性(有効面積内)
85%
輝度値
1000cd/m2以上
エージング時間
10分
輝度変動率
1%(測定時間内)

使用環境
測定温度
25℃ ±2℃  湿度20~80%RH(但し、結露しないこと)
動作温度
0~40℃
電源
AC100~220V ±10% 5A    50/60Hz 

外観

測定部光源部


膜厚ムラ解析装置 外観

外観は予告なく変更することがございます。

膜厚ムラ計測装置はすべて特注製品でお客様のご要望に合わせ、ムラ計測装置を開発して納入いたします。

測定例

ITO膜

ITO膜

膜パターン形成ムラ

膜パターン形成ムラ
膜パターン形成ムラ

PI膜

薄いガラスによるタワミがあっても測定できます。

PI膜
PI膜